催化燃燒廢氣處理工藝流程包括以下步驟：

　　廢氣的收集和預處理：將產生的廢氣從工業設備中收集起來，經過除塵、脫硫、脫氮等工藝進行預處理，確保廢氣的穩定性和安全性。

　　催化燃燒反應室：將預處理后的廢氣送入催化燃燒反應室，室內通過加熱，控制催化燃燒溫度，催化劑加速反應使廢氣中的有機物、CO、NOx等物質被氧化分解。

　　煙氣凈化：通過吸附、過濾等方式來凈化產生的煙氣，使得廢氣排放達標。

　　熱能回收：通過換熱器等設備回收催化燃燒產生的熱能，用于加熱其他廢氣或加熱系統。

　　廢氣監測：對處理完的廢氣進行監測，確保處理效果符合國家相關法規要求。

　　以上是催化燃燒廢氣處理工藝流程的基本步驟，具體應用時需要結合實際情況來設計和優化。